離子源電源利用稀薄氣體中的高頻放電現象使氣體電離，一般用來產生低電荷態正離子，有時也從中引出負離子，作為負離子源使用。在高頻電場中，自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞，并使之電離。帶電粒子倍增的結果，形成無極放電，產生大量等離子體。高頻離子源的放電管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高頻場可由管外螺線管線圈產生，也可由套在管外的環形電極產生。前者稱為電感耦合,后者稱為電容耦合高頻振蕩器頻率為10 ～10 Hz，輸出功率在數百瓦以上。
    從高頻離子源中引出離子可有兩種方式。一種是在放電管頂端插入一根鎢絲作為正極，在放電管尾端裝一帶孔負電極，并把該孔做成管形，從中引出離子流。另一種方式是把正極做成帽形，裝在引出電極附近，而放電區則在它的另一側。不管采用哪種引出方式，金屬電極都要用石英或玻璃包起來，以減少離子在金屬表面的復合。

    離子源電源的另一種工作原理是利用氣體放電原理，將工件放置在氣體放電形成的等離子體中，通過放電粒子對工件表面進行轟擊。氣體等離子中包含的正離子、負離子、中性粒子、自由電子、光子和自由基等粒子，通過控制氣體放電過程使等離子體轟擊工件，可以消除表面附著的一些低分子物質，使其被電離、離解或解吸；同時其中一些高能載荷粒子所具有的豐富化學活性可以引起表面的物理形貌和化學結構的變化，使工件得到表面刻蝕和活化作用。

    顯然，利用離子源電源進行離子轟擊清洗工藝完全不同于液體清洗，是一種比較理想的“干式清洗”處理過程，具有明顯的綠色環保工藝技術特點。可以對金屬、塑料、玻璃等材料表面進行除油、活化、清洗處理，在薄膜沉積、半導體、紡織、精密機械等領域得到了較好的應用。在鍍膜前通過離子轟擊工件，其轟擊能量可傳遞給基底的晶格原子，使晶格結構遭到破壞，增加工件表面的微觀粗糙度，使基底的表面原子徹底裸露，提高原子的極化率，縮小了薄膜原子與基底表面原子的間距，同時增加薄膜與表面的接觸面積，有利于提高機械鎖緊力，從而極大地改善薄膜與基底間的附著力。

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